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超純水制取設備的工藝流程
電子半導體行業(yè)超純水制取設備的工藝流程:
晨興水處理公司技術人員針對電子光學半導體行業(yè)選用以下工藝,采用的是二級反滲透+EDI裝置+核能拋光混床作為系統(tǒng)的主脫鹽設備;系統(tǒng)運行費用低,易于實現(xiàn)自動化,反滲透水處理系統(tǒng)具有很好的經(jīng)濟性。該工藝的特點先進、成熟、出水水質穩(wěn)定、系統(tǒng)運行穩(wěn)定,反滲透+EDI脫鹽裝置
原水箱→原水泵→全自動多介質過濾器→全自動活性炭過濾器→還原劑加藥裝置→全自動軟化過濾器→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透系統(tǒng)→一級RO水箱→PH調節(jié)裝置→二級高壓泵→二級反滲透系統(tǒng)→二級RO純水箱→EDI增壓泵→UV殺菌器→脫氣膜→精密過濾器→EDI裝置→EDI純水箱→純水泵→拋光混床→0.22u膜過濾器→生產線用水點
電子半導體行業(yè)超純水制取設備的工藝介紹
1.預處理:主要是去除水中的有機物、懸浮物、膠體、硬度和余氯等,以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質過濾,活性炭吸附,樹脂交換鈣鎂離子及相關藥劑,以減少RO工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑
預處理系統(tǒng)包括:原水箱、原水泵、加藥系統(tǒng)、多介質過濾、活性碳過濾、軟化器、保安過濾器。
反滲透裝置:反滲透裝置是該項目預脫鹽的心臟部分,經(jīng)反滲透處理的水,能去除絕大部分無機鹽,微生物等。設計的合理與否直接關系到項目的投資費用、整個系統(tǒng)運行的經(jīng)濟效益、使用壽命、操作的可靠簡便性。反滲透膜均采用先進的低壓復合膜,單根脫鹽率達99.8%。當系統(tǒng)設計溫度為20℃時,考慮到原水水質變化以及膜的使用壽命等因素,本系統(tǒng)采用8英寸的復合RO膜,安裝在不銹鋼壓力容器內。回收率:50%~75%,脫鹽率:98%。RO系統(tǒng)回收率在50%~75%以上,系統(tǒng)脫鹽率不小于98%。在本項目中考慮到設備的節(jié)能、運行壓力、膜的透過濾、膜的脫鹽率、出水的含鹽量等因素,我公司推薦采用美國海德能、陶氏、東麗、GE、時代沃頓匯通等品牌的反滲透膜。
EDI裝置:EDI電除鹽系統(tǒng)是結合了電滲析與離子交換的優(yōu)點克服了二者存在的缺點的新技術,edi超純水處理工藝穩(wěn)定的工作狀態(tài),有效的延長了EDI的使用壽命,并降低用戶的運行成本。其工作原理是三個過程,一是在直流電場作用下,水中電解質通過離子交換膜發(fā)生選擇性遷移;二是陰陽離子交換樹脂對水中電解質進行著離子交換,并構成“離子通道”;三是離子交換樹脂界面水發(fā)生極化所產生的H+和OH-對交換樹脂進行著電化學再生。
拋光混床:拋光混床又稱一次性混床,一般情況用在高純水制取的工藝末端,用來更進一步提高產水水質。拋光混床中的拋光樹脂是不能再生重復使用的,所謂拋光的意思就是樹脂的表面處理情況。
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