超純水制取設(shè)備的工藝流程

電子半導(dǎo)體行業(yè)超純水制取設(shè)備的工藝流程:

  晨興水處理公司技術(shù)人員針對(duì)電子光學(xué)半導(dǎo)體行業(yè)選用以下工藝，采用的是二級(jí)反滲透+EDI裝置+核能拋光混床作為系統(tǒng)的主脫鹽設(shè)備；系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用低，易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，反滲透水處理系統(tǒng)具有很好的經(jīng)濟(jì)性。該工藝的特點(diǎn)先進(jìn)、成熟、出水水質(zhì)穩(wěn)定、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定，反滲透+EDI脫鹽裝置

原水箱→原水泵→全自動(dòng)多介質(zhì)過(guò)濾器→全自動(dòng)活性炭過(guò)濾器→還原劑加藥裝置→全自動(dòng)軟化過(guò)濾器→保安過(guò)濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)反滲透系統(tǒng)→一級(jí)RO水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→二級(jí)高壓泵→二級(jí)反滲透系統(tǒng)→二級(jí)RO純水箱→EDI增壓泵→UV殺菌器→脫氣膜→精密過(guò)濾器→EDI裝置→EDI純水箱→純水泵→拋光混床→0.22u膜過(guò)濾器→生產(chǎn)線用水點(diǎn)

電子半導(dǎo)體行業(yè)超純水制取設(shè)備的工藝介紹

1.預(yù)處理：主要是去除水中的有機(jī)物、懸浮物、膠體、硬度和余氯等，以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質(zhì)過(guò)濾，活性炭吸附，樹(shù)脂交換鈣鎂離子及相關(guān)藥劑，以減少RO工作時(shí)產(chǎn)生垢物和藻類生長(zhǎng)及微生物污染及氧化劑

預(yù)處理系統(tǒng)包括：原水箱、原水泵、加藥系統(tǒng)、多介質(zhì)過(guò)濾、活性碳過(guò)濾、軟化器、保安過(guò)濾器。

反滲透裝置：反滲透裝置是該項(xiàng)目預(yù)脫鹽的心臟部分，經(jīng)反滲透處理的水，能去除絕大部分無(wú)機(jī)鹽，微生物等。設(shè)計(jì)的合理與否直接關(guān)系到項(xiàng)目的投資費(fèi)用、整個(gè)系統(tǒng)運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)效益、使用壽命、操作的可靠簡(jiǎn)便性。反滲透膜均采用先進(jìn)的低壓復(fù)合膜，單根脫鹽率達(dá)99.8%。當(dāng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)溫度為20℃時(shí)，考慮到原水水質(zhì)變化以及膜的使用壽命等因素，本系統(tǒng)采用8英寸的復(fù)合RO膜，安裝在不銹鋼壓力容器內(nèi)。回收率：50%～75%，脫鹽率：98%。RO系統(tǒng)回收率在50%～75%以上，系統(tǒng)脫鹽率不小于98%。在本項(xiàng)目中考慮到設(shè)備的節(jié)能、運(yùn)行壓力、膜的透過(guò)濾、膜的脫鹽率、出水的含鹽量等因素，我公司推薦采用美國(guó)海德能、陶氏、東麗、GE、時(shí)代沃頓匯通等品牌的反滲透膜。

EDI裝置：EDI電除鹽系統(tǒng)是結(jié)合了電滲析與離子交換的優(yōu)點(diǎn)克服了二者存在的缺點(diǎn)的新技術(shù)，edi超純水處理工藝穩(wěn)定的工作狀態(tài)，有效的延長(zhǎng)了EDI的使用壽命，并降低用戶的運(yùn)行成本。其工作原理是三個(gè)過(guò)程，一是在直流電場(chǎng)作用下，水中電解質(zhì)通過(guò)離子交換膜發(fā)生選擇性遷移;二是陰陽(yáng)離子交換樹(shù)脂對(duì)水中電解質(zhì)進(jìn)行著離子交換，并構(gòu)成“離子通道”;三是離子交換樹(shù)脂界面水發(fā)生極化所產(chǎn)生的H+和OH-對(duì)交換樹(shù)脂進(jìn)行著電化學(xué)再生。

拋光混床：拋光混床又稱一次性混床，一般情況用在高純水制取的工藝末端，用來(lái)更進(jìn)一步提高產(chǎn)水水質(zhì)。拋光混床中的拋光樹(shù)脂是不能再生重復(fù)使用的，所謂拋光的意思就是樹(shù)脂的表面處理情況。

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